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高精度真空计控制器HF403隆重上市

作者:深圳好风 浏览:767 发表时间:2019-08-06 09:31:05 来源:深圳好风

应市场的需求,深圳好风推出了HF403高精度真空计控制器。HF403可与各种 INFICON(英福康) ,Leybold(莱宝) 主动真空计兼容(适用型号见下面表格1),能够监测 10⁻¹⁰ 至 1500 mbar(10⁻¹⁰ 至 1125 Torr)的完整压力范围和设定点。该控制器内部设计高可靠性隔离电源,可以稳定给各真空计供电。高精度数据处理模块可以将真空计的微小信号显示并传输给PLC,供工艺控制。可以广泛用在真空镀膜、半导体生产制造等行业。


适用真空计型号:


测量原理

INFICON(英福康) 型号   


Leybold (莱宝)型号  

Pirani Gauges

PSG500, PSG502

=

TTR 91 / TTR 96

Pirani Gauges advanced

PSG550 / PSG552 / PSG554

=

TTR 911 / TTR 916

Pirani Capacitive Diaphragm Gauges

PCG550 / PCG552 / PCG554

=

TTR 101

Bayard Alpert Hot Ion Pirani Gauges

BPG400 / BPG402

=

ITR 90 / ITR 200

Penning Gauges

PEG100

=

PTR 225 / PTR 237

Cold Cathode Gauges

MPG400 / MPG500

=

PTR 90

Ambient Capacitive Gauges

CDG025D

=

CTR 100

45°C Capacitive Gauges

CDG045D

=

CTR 101

(除上述外,还可据客户要求定制)





好处

  • 每个HF403可连接两路皮拉尼真空计和1路高真空计(MPG或CDG),集成度高,性价比更优
  • 不用单独为真空计再配置电源。保证真空计不烧毁以及进行稳定的数值输出。
  • 标准485通讯接口,适合各种PLC或显示屏
  • 可在线或使用 调试口进行固件升级
  • 高分辨率 - 16 位 A/D 转换器


更多详情,参见:产品中心>>>真空计转换单元



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